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蔡司半导体制造技术公司（以下简称“蔡司SMT”）近日宣布，启用德国新生产基地，以扩大EUV光学元件产量。  此次扩产意义重大，因为蔡司SMT是ASML EUV光刻机的唯一光学供应商，扮演着不可替代的角色，可以说没有蔡司就没有EUV光刻机。  蔡司SMT产能是限制ASML EUV光刻机产量的关键瓶颈，直接决定了ASML能否实现2027年增产30%的目标。ASML在今年2月份发布的年报中警告，如果蔡司SMT的生产中断持续较长时间，ASML将实际上停止运营。  蔡司SMT独家供应ASML EUV扫描仪中的透镜、反射镜和照明系统。一套High-NA EUV投影系统由超过4万个零件组成，重约12吨，单面反射镜制造需耗时数月。  为支持蔡司SMT扩产，ASML提供了19.1亿欧元贷款和11.9亿欧元预付款。双方目标是将每台光刻机的组装周期从约22周缩短至15到16周，这将显著提升交付效率，缓解EUV光刻机供不应求的局面。  采购额方面，2023年ASML从蔡司SMT采购33.3亿欧元的光学设备，2024年达39.5亿欧元，2025年增至44.1亿欧元。